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发明名称 PRODUCTION OF AND APPARATUS FOR PRODUCING SEMI-INSULATING GAAS SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH07187886(A) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 JP19930327693 申请日期 1993.12.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMASHITA YOJI;KITA TORU
分类号 C30B15/12;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
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