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发明名称 COLLIMATOR
摘要
申请公布号 JPH07188923(A) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 JP19930334034 申请日期 1993.12.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWAI MITSUO;SATO MICHIO
分类号 C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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