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发明名称 DEVICE FOR MEASURING LAYER THICKNESS IN SETTLING
摘要
申请公布号 RU1202461(C) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 SU19843740489 申请日期 1984.05.14
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT MEKHANIKI I FIZIKI SARATOVSKOGO GOSUDARSTVENNOGO UNIVERSITETA 发明人 BILENKO D.I.;TSIPORUKHA V.D.
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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