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发明名称 OBJECT LEVITATING DEVICE AND OBJECT CARRYING DEVICE HAVING SAME DEVICE AND OBJECT LEVITATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07187388(A) 申请公布日期 1995.07.25
申请号 JP19930347817 申请日期 1993.12.24
申请人 KAIJO CORP 发明人 HASHIMOTO YOSHIKI
分类号 B65G54/00;B06B1/02;B65G27/10;B65G27/24;B65G35/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G54/00 主分类号 B65G54/00
代理机构 代理人
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