| 发明名称 |
PULLING UP DEVICE FOR SI SINGLE CRYSTAL WHICH ADJUSTS OXYGEN CONTROL BY ATMOSPHERE CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07187889(A) |
申请公布日期 |
1995.07.25 |
| 申请号 |
JP19930335358 |
申请日期 |
1993.12.28 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;SENSAI KOUJI;TERAJIMA KAZUTAKA |
发明人 |
SENSAI KOUJI;KOU CHIKAAKI;TERAJIMA KAZUTAKA;KIMURA SHIGEYUKI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B15/20;C30B27/02;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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