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发明名称
MIS TRANSISTOR MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号
RU1554686(C)
申请公布日期
1995.07.25
申请号
SU19874310317
申请日期
1987.09.30
申请人
ZEMSKIJ V.N.;VENKOV B.V.;FURSOV V.V.;MELNIKOVA I.I.;MOISEEVA L.V.;AMIRKHANOV A.V.
发明人
ZEMSKIJ V.N.;VENKOV B.V.;FURSOV V.V.;MELNIKOVA I.I.;MOISEEVA L.V.;AMIRKHANOV A.V.
分类号
H01L21/8232;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L21/8232
代理机构
代理人
主权项
地址
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