| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE PROVIDED WITH INFRARED SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07188932(A) |
申请公布日期 |
1995.07.25 |
| 申请号 |
JP19940256993 |
申请日期 |
1994.10.21 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIEEMUZU ANSONII ONIIRU;MAIKERU REEN PATSUSOU;TEINA JIEEN KOTORAA;JIYONASAN DANIERU CHIYATSUPURUUSOKORU;RICHIYAADO ANSONII KONTEI;JIYOISHI SHIN |
| 分类号 |
G01N21/33;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;C23F4/00;G01N21/35;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;H01L31/00;(IPC1-7):C23C16/52;H01L21/306 |
主分类号 |
G01N21/33 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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