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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07183225(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19930289276 申请日期 1993.11.18
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 IWASAKI NAOYUKI;KOBAYASHI NAOAKI;URATA KAZUO;SATO TATSUYA
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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