发明名称 Procédé et dispositif de compensation de déformations dans un système d'inspection optique automatique.
摘要 <P>Dans le procédé (62) de compensation de déformations d'un substrat exécute une comparaison de signaux des bases de données (64, 66), on regroupe (68) des signaux de données de base de dimensions préférées à une pluralité d'ensembles de signaux correspondants de régions du substrat, recevoir des pixels d'une base de données (64) obtenue par balayage du substrat, et regrouper les signaux de base de données explorés, comparer (70) des ensembles de signaux correspondant à une région, produire (72) des signaux indicatifs d'un écart entre une position explorée et une position préférée d'un pixel et produire (74) des signaux servant pour supprimer l'écart. <BR/> Application notamment à la fabrication de panneaux de circuits imprimés.</P>
申请公布号 FR2715241(A1) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 FR19950000304 申请日期 1995.01.12
申请人 GERBER SYSTEMS CORP 发明人 STRAAYER RONALD J;SNIETKA SCOTT P;WALSH PETER M;KOHLER JAMES P
分类号 G01N21/88;G01B11/16;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/28;G06T1/00;G06T7/00;H05K3/00 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
地址