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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0740765(U)
申请公布日期
1995.07.21
申请号
JP19930069229U
申请日期
1993.12.24
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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