EXPOSURE DEVICE AND METHOD THEREFOR,申请号JP19930345162-传众专利搜索

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发明名称	EXPOSURE DEVICE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH07183201(A)	申请公布日期	1995.07.21
申请号	JP19930345162	申请日期	1993.12.21
申请人	NEC CORP	发明人	KASAMA KUNIHIKO
分类号	G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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