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发明名称 MICROSCOPIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07181395(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19930347880 申请日期 1993.12.24
申请人 EBARA CORP;KAJIMA CORP 发明人 KANEMITSU YOICHI;WATANABE KAZUHIDE;IKEDA YUKIO;HIROSE MASAYOSHI;YANO KENICHI
分类号 G02B21/24;F16F15/03;(IPC1-7):G02B21/24 主分类号 G02B21/24
代理机构 代理人
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