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发明名称
MULTILAYER WIRING STRUCTURE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号
JPH07183378(A)
申请公布日期
1995.07.21
申请号
JP19930327204
申请日期
1993.12.24
申请人
NEC CORP
发明人
MIYOSHI KOSUKE
分类号
H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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