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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH07183224(A)
申请公布日期
1995.07.21
申请号
JP19930284743
申请日期
1993.11.15
申请人
APPLIED MATERIALS INC
发明人
IWASAKI NAOYUKI;KOBAYASHI NAOAKI;URATA KAZUO;SATO TATSUYA
分类号
C23C16/50;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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