| 发明名称 |
ANTIREFLECTION MATERIAL AND PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07181685(A) |
申请公布日期 |
1995.07.21 |
| 申请号 |
JP19930345213 |
申请日期 |
1993.12.21 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
HATAKEYAMA JUN;UMEMURA MITSUO;KINOSHITA HIROBUMI |
| 分类号 |
G03F7/11;C09D171/00;C09D171/02;C09K3/00;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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