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发明名称 PREPARATION OF DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07183348(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19940302650 申请日期 1994.11.14
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 NADEIN BURAYO;DEIRU EDOWAADO IBOTSUTOSON;TSUENNCHIYUN RII
分类号 G01J4/00;G01N21/21;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/306 主分类号 G01J4/00
代理机构 代理人
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