发明名称 METHOD FOR FORMING TRENCH ISOLATION REGION
摘要
申请公布号 JPH07183369(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19930346572 申请日期 1993.12.22
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI HIROSHI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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