| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER TREATING AGENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07183288(A) |
申请公布日期 |
1995.07.21 |
| 申请号 |
JP19930328545 |
申请日期 |
1993.12.24 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MIYASHITA MORIYA;FUKAZAWA YUJI |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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