| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR TOOL MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07183347(A) |
申请公布日期 |
1995.07.21 |
| 申请号 |
JP19930323625 |
申请日期 |
1993.12.22 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD;SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
MINAGAWA KAZUHIRO;ARAHORI TADAHISA;KOIKE YASUO |
| 分类号 |
G01N21/88;C23C14/50;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/31;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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