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发明名称 PROBE FOR INSPECTING SUBSTRATE AND CORRECTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07181202(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19930326424 申请日期 1993.12.24
申请人 SHARP CORP 发明人 KAWASHIMA SHINGO
分类号 G01R1/06;G01R1/073;G02F1/13;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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