发明名称 Procede et appareil pour tester des circuits integres a grande integration.
摘要
申请公布号 DE69020155(D1) 申请公布日期 1995.07.20
申请号 DE19906020155 申请日期 1990.09.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 DIEBOLD, ULRICH, DIPL.-ING., D-7033 HERRENBERG, DE;RIEGLER, JOACHIM, DIPL.-ING., D-7268 GECHINGEN, DE;ROST, PETER, DIPL.-ING., D-7260 CALW, DE;SCHMIDT, MANFRED, DIPL.-PHYS., D-7036 SCHOENAICH, DE;TORREITER, OTTO, DIPL.-ING., D-7022 LEINFELDEN-ECHTERDINGEN, DE;VERWEGEN, PETER, DIPL.-ING., D-7030 BOEBLINGEN, DE;WEILAND, DAWN, D-7277 WILDBERG 4, DE;WENDEL, DIETER, DIPL.-ING., D-7032 SINDELFINGEN, DE
分类号 G01R31/317;G06F11/27;(IPC1-7):G06F11/26 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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