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发明名称
Radiofrequenzplasmaerzeugungsvorrichtung vom Koaxialkavitätstyp.
摘要
申请公布号
DE69020031(D1)
申请公布日期
1995.07.20
申请号
DE19906020031
申请日期
1990.03.22
申请人
THE BOARD OF TRUSTEES OF THE MICHIGAN STATE UNIVERSITY, EAST LANSING, MICH., US
发明人
ASMUSSEN, JES, MICHIGAN 48864, US
分类号
H01J27/18;C30B23/02;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H01J27/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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