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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Lösungsmitteldampf-Konzentration in einer Gasschleuse einer Vorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69108210(T2) 申请公布日期 1995.07.20
申请号 DE19916008210T 申请日期 1991.11.29
申请人 THE DOW CHEMICAL CO. (N.D.GES.D. STAATES DELAWARE), MIDLAND, MICH., US 发明人 BOPPART, STEPHAN WALTER, CH-8820 WADENSWIL, CH;KUMIN, MARIUS ADELBERT MARIA, CH-6330 CHEM, CH
分类号 B01D5/00;B01D53/04;B01D53/44;B01D53/74;B01D53/81;B01J20/26;B08B3/08;C23G5/04;D06F43/08;D06L1/02;(IPC1-7):B01D53/04 主分类号 B01D5/00
代理机构 代理人
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