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发明名称
Verfahren zur Homogenisierung der Ionenimplantierung auf der Oberfläche ebener Proben.
摘要
申请公布号
DE69110327(D1)
申请公布日期
1995.07.20
申请号
DE19916010327
申请日期
1991.03.21
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR
发明人
LAMURE, JEAN-MICHEL, F-38420 SAINT JEAN LE VIEUX, FR;MICHAUD, JEAN FRANCOIS, F-73800 MONTMELIAN, FR
分类号
C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/20;H01L21/00
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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