| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer, die Sperrspannungsfestigkeit erhoehenden Randzonenprofilierung von Siliziumscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1258235(B) |
申请公布日期 |
1968.01.04 |
| 申请号 |
DE1965L049647 |
申请日期 |
1965.01.04 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-G.M.B.H. |
发明人 |
MAGNER RICHARD |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/00;H01L21/306;H01L29/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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