发明名称 |
PROCESS OF FORMATION OF EPITAXIAL STRUCTURES |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1422904(C) |
申请公布日期 |
1995.07.20 |
申请号 |
SU19853841630 |
申请日期 |
1985.01.08 |
申请人 |
PROKHOROV V.I.;SAZONOV V.M. |
发明人 |
PROKHOROV V.I.;SAZONOV V.M. |
分类号 |
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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