发明名称 PROCESS OF FORMATION OF EPITAXIAL STRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1422904(C) 申请公布日期 1995.07.20
申请号 SU19853841630 申请日期 1985.01.08
申请人 PROKHOROV V.I.;SAZONOV V.M. 发明人 PROKHOROV V.I.;SAZONOV V.M.
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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