发明名称
摘要
申请公布号 JPH0766925(B2) 申请公布日期 1995.07.19
申请号 JP19910344861 申请日期 1991.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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