发明名称
摘要
申请公布号 JP3013740(U) 申请公布日期 1995.07.18
申请号 JP19950000116U 申请日期 1995.01.19
申请人 发明人
分类号 F24F1/00;F24F13/15;H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):F24F13/15 主分类号 F24F1/00
代理机构 代理人
主权项
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