| 发明名称 |
PRODUCTION OF HIGHLY CORROSION-RESISTANT METALLIC MATERIAL FOR DEVICE FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07180035(A) |
申请公布日期 |
1995.07.18 |
| 申请号 |
JP19930325262 |
申请日期 |
1993.12.22 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
IKEDA TSUGUMOTO;HISAMOTO ATSUSHI;HASHIMOTO IKUO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C16/30;C23C28/04;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
