| 发明名称 |
SURFACE MEASURING INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07174800(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19940229224 |
申请日期 |
1994.09.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHIMATSU SHIGERU;MIZUTANI TATSUMI;TSUJII KANJI;HARUTA AKIRA;MUNAKATA TADASUKE;HOSOKI SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G01R29/12;G01N27/00;G01R29/14;G01R29/24;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R29/14 |
主分类号 |
G01R29/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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