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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07176483(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930312177 申请日期 1993.12.13
申请人 NEC CORP 发明人 KARIYA ATSUSHI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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