发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07176502(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19940292329 申请日期 1994.11.01
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KASAGI YASUO
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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