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发明名称 CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07176492(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930322719 申请日期 1993.12.21
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOIKE HIDEHO;KITAHARA KOJI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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