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发明名称 Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä
摘要
申请公布号 FI94804(B) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 FI19940000742 申请日期 1994.02.17
申请人 VAISALA OY;VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS 发明人 BLOMBERG, MARTTI;ORPANA, MARKKU;LEHTO, ARI
分类号 G01B9/02;G01J3/26;G01N21/27;G02B5/28;G02B26/00;(IPC1-7):G01N21/17 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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