| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING GROOVE ON SURFACE OF SUBSTRATE AND MODULATOR FORMED BY THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07176717(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19940288700 |
申请日期 |
1994.10.31 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
KIISU UEIN GUUSEN;JIEEMUSU ARUBAATO UOOKAA |
| 分类号 |
H01L27/15;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/42;H01S5/00;(IPC1-7):H01L27/15;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L27/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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