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发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07176493(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930344446 申请日期 1993.12.17
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ZENNO YOSHIAKI
分类号 C30B25/00;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
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