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发明名称 ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH07176288(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930321455 申请日期 1993.12.21
申请人 TEL VARIAN LTD 发明人 TANAKA KENJI;MITSUI MITSURU
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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