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发明名称 INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07174807(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930318048 申请日期 1993.12.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAMOTO TOSHIRO
分类号 G01R31/02;G01M17/007;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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