发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07176736(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930317987 申请日期 1993.12.17
申请人 NEC CORP 发明人 HAMATAKE NOBUHISA
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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