| 发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITING GE ON SUBSTRATE AND PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07176485(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19920142056 |
申请日期 |
1992.05.08 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
SHIYAAZADO AKUBA;JIYATSUKU UUN SHIYUU;BURAIAN KANINGUHAMU |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/28;C30B25/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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