| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07176575(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19930322815 |
申请日期 |
1993.12.21 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
ONO TAIICHI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
