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发明名称 SUBSTRATE HEATER
摘要
申请公布号 JPH07176472(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930345154 申请日期 1993.12.20
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 TANIGUCHI HIDEYUKI;FUKUTOMI YOSHIMITSU;MATSUSHITA MASANAO;OTANI MASAMI
分类号 B65G49/07;B25J18/00;H01L21/027;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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