发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07176526(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930345145 申请日期 1993.12.20
申请人 TORAY IND INC 发明人 OKA TETSUO;MIYAMOTO MASASUKE
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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