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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07174822(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930321709 申请日期 1993.12.21
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KONDOU HISASHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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