| 发明名称 |
X-RAY OPTICAL ELEMENT, X-RAY OPTICAL DEVICE, AND ALIGNING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07174900(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19930320459 |
申请日期 |
1993.12.20 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
MORIYAMA TAKESHI;KATAKURA NORIHIRO |
| 分类号 |
G21K1/00;G21K7/00;(IPC1-7):G21K7/00 |
主分类号 |
G21K1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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