发明名称 |
APPARATUS FOR DETECTING OPTICAL DISPLACEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07174514(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
申请号 |
JP19940262901 |
申请日期 |
1994.10.26 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
MIYASHITA MASAYUKI;ISHIKAWA MIYUKI |
分类号 |
G01B11/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q90/00;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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