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发明名称 SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07174545(A) 申请公布日期 1995.07.14
申请号 JP19930344099 申请日期 1993.12.17
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 NAKAMURA YASUSHI
分类号 G01B11/30;G01B21/30;G01Q60/24;G01Q60/26;H01J37/28;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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