REVERSIBLE CHIP CONTACTING DEVICE

摘要

Vorrichtung zur reversiblen Kontaktierung einer für kubische Integration vorgesehenen Halbleiterschaltungsebene zum Zweck des Funktionstests, bestehend aus einem Testkopf mit an der Oberseite gegenüberliegend den Kontaktflächen der Halbleiterschaltungsebene angeordneten Testkontakten, die durch Flüssigkontakte (8) in mit Metallisierungen (12) versehenen Aussparungen in der Oberseite des Testkopfes gebildet sind. Die Metallisierungen (12) sind für den elektrischen Anschluss mit elektrisch leitenden Verbindungsleitungen (13) verbunden, und die Flüssigkontakte (8) bilden Menisken (11), die über die ggf. mit einer Aufrauhung (9) oder eingeätzten Gräben (10) versehene Oberseite des Testkopfes hinausragen.