发明名称 Strahlungsempfindliche Materialien und damit hergestellte Artikel.
摘要
申请公布号 DE68922922(D1) 申请公布日期 1995.07.13
申请号 DE19896022922 申请日期 1989.02.17
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 HOULIHAN, FRANCIS MICHAEL, NORTH PLAINFIELD NEW JERSEY 07060, US;REICHMANIS, ELSA, WESTFIELD NEW JERSEY 07090, US;THOMPSON, LARRY FLACK, MILLINGTON NEW JERSEY 07946, US
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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