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发明名称 Hochvakuum-Beschichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE4207526(C2) 申请公布日期 1995.07.13
申请号 DE19924207526 申请日期 1992.03.10
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SCHOENHERR, BERNHARD, DIPL.-ING., 6050 OFFENBACH, DE;WENK, KARL-HEINRICH, DIPL.-ING., 6350 BAD NAUHEIM, DE
分类号 C23C14/04;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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